MEMSパークコンソーシアム

MEMSパークコンソーシアム事務局

東北大学　西澤潤一記念研究センター内
〒980-0845
仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
TEL: 022-229-4113

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公開セミナー

(第41回マイクロシステム融合研究会)
ARIM高度デバイス領域／μSIC合同研究会‐半導体デバイス/プロセス開発におけるデータ利活用‐

文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）高度デバイス領域と東北大学マイクロシステム融合研究開発センターは、デバイス／プロセス開発におけるデータ利活用をテーマとした合同研究会を開催します。先端加工技術や計測データ利活用の最新動向を共有し、デバイス／プロセス開発の高効率化、高度化に向けた課題と展望を議論します。また研究会終了後に交流会も開催いたします。皆様ぜひご参加ください。

日時：: ARIM高度デバイス領域／μSIC合同研究会‐半導体デバイス/プロセス開発におけるデータ利活用‐
2026年3月13日（金)13:00〜17:15（終了後交流会）
場所：: RISE GATE NIHONBASHIカンファレンスA
東京都中央区日本橋室町1丁目7-1 スルガビル7階
共催：: 文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）高度デバイス領域
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター(μSIC)
MEMSパークコンソーシアム(MEMSPC)
参加費: 　参加無料（交流会は有料）
交流会：: 17:20～19:20
会場：: RISE GATE NIHONBASHI ラウンジ　
参加費：: 2,000円/1名（MEMSPC会員企業は1名無料）
お申込みフォーム：: お申込みはこちらから
(Googleフォームを使用しております。)
※（参加申込〆切：2026 年 3月6日）Google Form の他、事務局あてE-mail、FAX でも受け付けます。
問い合わせ先(研究会事務局)：: 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
大高剛一/早川昌子　
E-mai：koichi.ohtaka.e8@tohoku.ac.jp ／masako.hayakawa.b1@tohoku.ac.jp; Tel. 022-229-4113

【プログラム】

13:00-13:05	主催者挨拶東北大学μSIC教授戸津健太郎
13:05-13:35	招待講演東北大学AIMR准教授赤木和人講演タイトル「トポロジカルデータ解析を用いた顕微画像の定量化と特徴量抽出の取り組み」
13:35-14:05	招待講演　（株）エイゾス創業者　河尻耕太郎講演タイトル「未定」
14:05-14:35	招待講演　産業技術総合研究所　研究主幹　栗原一真講演タイトル「微細構造体が創る高機能部材とDX活用」
14:35-15:05	ARIM事業紹介装置/データ利用、半導体基盤PF
15:05-15:35	休憩　　　　ポスター展示 ARIM（設備利用、データ利用、半導体基盤PF）、各機関
15:35-16:00	香川大学教授寺尾恭平講演タイトル「香川大学における微細加工プロセスと医療・バイオ応用」
16:00-16:25	豊田工業大学　教授　佐々木実講演タイトル「データと共に工夫する微細加工プロセス」
16:25-16:50	筑波大学　教授　末益崇講演タイトル「未定」
16:50-17:15	東北大学　准教授　大野裕/准教授　森山雅昭講演タイトル「未定」