公開セミナー
第23回MEMS集中講義 in 川崎
東北大学マイクロシステム融合研究開発センターでは2003年よりMEMS集中講義を企画開催しており、講義を通してMEMS技術の基礎からアプリケーション、最新情報など、MEMSに関する情報を総合的に学習できます。23回目となる今回は、東京大学三宅先生、川崎市のご協力により、8月19日〜21日の3日間かわさき新産業創造センター AIRBICで開催します。参加費は無料です。お手数ですが、事前のお申し込みをお願いいたします。昨年と同様、現地開催とネット配信のハイブリッドで開催しますが、よろしければぜひ会場にお越しいただき、講師や参加者の皆様との情報交換、交流の場として活用ください。8月20日の夕方に交流会も企画しています。ご参加は3日間すべてではなく、一部のみでも構いません。皆様とお会いできることを楽しみにしております。
- 日時：
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第23回MEMS集中講義 in 川崎
2025年8月19日（火)〜21日(木)交流会 8月20日(水)
- 場所：
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かわさき新産業創造センター AIRBIC 1階 会議室
川崎市幸区新川崎7-7
- 主催：
- 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム
- 共催：
- ４大学ナノマイクロファブリケーションコンソーシアム、東北大学ナノテク融合技術支援センター、東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター
- 参加費
- 参加無料 （交流会は有料）
- 交流会：
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8月20日(水) 17:30〜19:00
交流会の申し込みは8月15日午後3時で締め切ります。申し込み無しで交流会参加ご希望の方は8月19日の受け付けの際に事務局へご相談下さい。
会場AIRBIC 1階レストランを予定 - 配信：
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3日間すべてYouTube配信予定
- 講義資料：
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冊子は配布しません。準備が整い次第参加申し込みされた方にダウンロード方法をご案内いたします。事前に印刷いただくか、ノートPCやタブレットをご持参ください。会場の座席にはコンセントはありませんが、テーブルタップをいくつか用意いたしますので、休憩時間中などでの充電にご利用ください。
- お申込みフォーム：
- 問い合わせ先：
- 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
- 齋藤 哲郎 E-mail：ｔ-saitoh(at)tohoku.jp
- 小林みゆき E-mail：miyuki.kobayashi.c2(at)tohoku.ac.jp
※(at)を@に置き換えて下さい
| 【 第23回MEMS集中講義 in 川崎プログラム】 |
| 【講師】（五十音順）小野崇人、金森義明、 鈴木裕輝夫、田中秀治、塚本貴城、戸津健太郎、芳賀洋一、日暮栄治、三宅亮 |
| 【8月19日(火)】 |
| 9:00受付開始 9:30-12:00 マイクロマシニング1(概論、フォトリソグラフィ、エッチング、成膜)[戸津健太郎（東北大学）] 13:00-16:00 マイクロマシニング2(接合、複合プロセス、パッケージング、評価、試作環境)[戸津健太郎（東北大学)] 16:10-18:00 マイクロアクチュエータ、圧電薄膜プロセスと応用、集積化MEMS技術 [鈴木裕輝夫(東北大)] |
| 【8月20日(水)】 |
| 8:30受付開始 10:30-12:30 加速度センサ、ジャイロスコープ、磁気センサ [塚本貴城(東北大)] 13:30-15:00 IT・通信・自動車応用(圧力センサ、マイクロフォン、BAWフィルタ、MEMSクロック発振器、マイクロミラーデバイス) [田中秀治(東北大)] 15:10-16:00 6G・ロボティックス応用に向けたメタマテリアル [金森義明(東北大)] 15:10-17:00 MEMSの新しい話題 [田中秀治(東北大)] 17:30-19:00 交流会 (AIRBIC 1階レストランを予定) |
| 【8月21日(木)】 |
| 8:30受付開始 9:00-12:30 製造検査、環境センサ、ナノマシニング、発電デバイス [小野崇人(東北大)] 13:30-15:00 異種材料集積技術の進展とセンサ・MEMS応用 [日暮栄治(東北大)] 15:10-16:40 医療・ヘルスケア(健康管理)応用 [芳賀洋一(東北大)] 16:50-17:40 メタレンズ・6G用メタマテリアル [金森義明(東北大)] |
※講義資料は準備が整い次第、ダウンロードできるようにいたします。
【問い合わせ先】
〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター
（代表電話）022-229-4113
齋藤 哲郎 E-mail: t-saitoh(at)tohoku.ac.jp
小林みゆき E-mail:.miyuki.kobayashi.c2(at)tohoku.ac.jp
※(at)を@に置き換えて下さい